ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计，是大 多数半导体开发和支持实验室的常用工具。通过优化的二次离子收集光学系统 和超高真空设计，提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。

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